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HL-150—系列滑阀真空泵

概括
H/2H系列滑阀真空泵是排除一般性气体和含有少量可凝气体(使用气镇装置)的真空获得设备之一。当抽除含氧量过高、有爆炸性气体、对黑色金属有腐蚀性的、对泵油起化学反应的气体时应增加附加装置才能保证正常使用。
本系列滑阀真空泵采用了多项先进技术,对滑阀杆离心惯性力进行了动平衡设计,在国内首次实现大泵双缸结构(2H系列),在气路设计等方面进行了改革,本泵具有体积小、真空度高、振动噪声小、运转平稳、功耗小等突出优点。
本系列泵可单独使用,也可作为其他真空泵的前级泵。适用于真空镀膜设备、宇航模拟设备、单晶炉,多晶炉设备、真空干燥、真空浸渍、真空冶炼等场合。


型号/性能/参数(Type-Performance-parameter)

型号

极限压力(Pa)

抽气速率(L/S

进气口径
mm

排气口径
mm

配用功率
KW

冷却水耗量(L/h

2H-30

6×10-2

30

63

50

4

250

2H-70

6×10-2

70

80

63

7.5

350

2H-150

6×10-2

150

100

80

15

500

HL-150

0.8

150

100

80

11

700

H-150

0.8

150

100

80

15

700

H-300

0.8

300

200

100

30

1000

特性曲线 Characteristic curve


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